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在半導(dǎo)體制造邁向更精細(xì)工藝的時(shí)代，晶圓級(jí)缺陷分析、失效定位與微納加工已成為提升良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。國(guó)儀量子推出8英寸晶圓雙束全尺寸加工解決方案，集高分辨率成像與精準(zhǔn)離子束加工于一體，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的“觀測(cè)-分析-切割”全流程覆蓋，為半導(dǎo)體先進(jìn)制程提供強(qiáng)大技術(shù)支撐。該方案搭載150mm大行程高精度樣品臺(tái)，可支持8英寸晶圓全域無(wú)損觀測(cè)與加工，配合外置光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)與智能防碰撞算法，實(shí)現(xiàn)晶圓的快速、精準(zhǔn)定位與安全操作。系統(tǒng)配備肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，分辨率達(dá)0.9nm@15kV，離子束分辨率達(dá)3...

在半導(dǎo)體制造邁向更精細(xì)工藝節(jié)點(diǎn)的今天，晶圓缺陷檢測(cè)已成為決定良率與性能的關(guān)鍵。國(guó)儀量子推出新一代12寸晶圓掃描電鏡解決方案，以突破性技術(shù)實(shí)現(xiàn)晶圓全域、無(wú)需轉(zhuǎn)動(dòng)與傾斜、無(wú)損、高分辨率檢測(cè)，為先進(jìn)制程提供堅(jiān)實(shí)支撐。該方案配備超大行程樣品臺(tái)（X/Y≥300mm），可全面覆蓋12寸晶圓，無(wú)需切割或轉(zhuǎn)移樣品，真正實(shí)現(xiàn)“原尺寸、原位置”觀測(cè)。系統(tǒng)搭載肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，在15kV下分辨率達(dá)1.0nm，即便在1kV低電壓下仍保持1.5nm超高分辨率，極大降低電子束損傷，尤其適用于敏感結(jié)構(gòu)與...

在生命科學(xué)、生物醫(yī)藥、食品檢驗(yàn)及軟物質(zhì)研究領(lǐng)域，對(duì)含水樣品、電子束敏感材料進(jìn)行高分辨率成像始終面臨巨大挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)制樣方法中的化學(xué)固定、脫水、干燥等過程極易導(dǎo)致樣品收縮、變形或結(jié)構(gòu)破壞，使觀測(cè)結(jié)果偏離真實(shí)狀態(tài)。國(guó)儀量子依托*的掃描電鏡技術(shù)，推出冷凍傳輸電鏡方案（Cryo-SEM），以低溫冷凍與真空傳輸為核心，實(shí)現(xiàn)對(duì)生物及敏感樣品原位、無(wú)損、高保真的顯微觀察，真正“凍結(jié)”生命微觀細(xì)節(jié)。該方案通過液氮泥快速冷凍技術(shù)，可在-210℃條件下瞬間固定樣品，最大限度保留其原始形態(tài)與化學(xué)成分...

在生命科學(xué)領(lǐng)域，對(duì)細(xì)胞、組織等生物樣品進(jìn)行高精度、大尺度的三維結(jié)構(gòu)與動(dòng)態(tài)分析已成為突破科研瓶頸的關(guān)鍵。國(guó)儀量子推出多技術(shù)路線體電鏡解決方案（VEM），整合SS-SEM、SBF-SEM與FIB-SEM三大技術(shù)路徑，為生物三維重構(gòu)提供全方位、高性能、智能化的平臺(tái)級(jí)支持，助力用戶深度解析生命微觀奧秘。涵蓋三種先進(jìn)技術(shù)路線01SS-SEM高速成像方案采用外置連續(xù)切片與高速電鏡HEM6000-Bio聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)超大體積樣本的快速成像與自動(dòng)化采集，數(shù)據(jù)獲取速度較常規(guī)電鏡提升5倍以上，支持7...

背景熱對(duì)流效應(yīng)是低壓氣體系統(tǒng)中由溫度梯度引發(fā)的重要物理現(xiàn)象。考慮一個(gè)由細(xì)管連接兩個(gè)容器組成的封閉系統(tǒng)，兩個(gè)容器（編號(hào)為1和2）保持在不同溫度T?、T?下。當(dāng)系統(tǒng)中氣體壓力較高時(shí)，根據(jù)流體力學(xué)定律，系統(tǒng)中任何地方的壓力都相同。隨著壓力逐漸降低，當(dāng)連接管直徑d與氣體分子平均自由程λ達(dá)到相同數(shù)量級(jí)時(shí)，就進(jìn)入分子流區(qū)域，流體力學(xué)定律不再成立，兩個(gè)容器中的壓力會(huì)產(chǎn)生差異。這種現(xiàn)象稱為熱對(duì)流效應(yīng)（thermaltranspirationeffect），或稱熱分子流動(dòng)效應(yīng)（thermo-m...